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万睿超高真空冷泵通过国家02专项验收,SMIC参加

作者:重庆高压水泵价格 文章来源:未知 2020-04-26

来源:纪微网作者:不详日期:2019/4/8访问: 近日,科技部组织召开了国家02专项(大规模集成电路制造设备及成套技...

来源:纪微网作者:不详日期:2019/4/8访问:

近日,科技部组织召开了国家02专项(大规模集成电路制造设备及成套技术)项目“国内集成电路设备零部件大规模生产及应用工程”综合绩效评估会议。会上,超高真空冷泵的研发和万睿公司承担的物业项目的义务被正式接受。

万瑞超高真空冷泵通过国家02专项验收,中芯国际参与测试

自2014年万睿公司承担国家02特种超高真空冷泵研发任务及产权项目以来,历经四年时间,持续的技术研发过程和大量的半导体工艺验证。目前,万睿公司已成功开发了一套用于半导体工业应用的集成智能控制系统的多级低温泵。该产品在机械和电气接口上完全可以被国外主流低温泵替代。

据万睿公司官方介绍,该设备不仅具有优异的极限真空和泵速特性,而且突破了半导体行业非常关注的关键技术难题,如工艺压力无紊乱、背景压力快速恢复、快速再生、一台压缩机拖多台低温泵等。

与传统工业应用相比,半导体集成电路工业应用对低温真空泵提出了更高的要求,包括远程智能控制系统、极高的温度稳定性、过程压力不变性、快速背景真空回收、大体积夹带气体、高效再生等。

2018年11月,科技部02专项办公室组织清华大学、SMIC、中化的多名专家组成测试小组,对万睿公司开发的集成电路超高真空低温泵进行现场测试。经检测,产品整体工艺达到国外同类产品的先进水平。该产品可广泛应用于半导体集成电路的PVD镀膜设备和离子注入机设备。(校对/小北)

关键词:万睿超高真空冷泵通过国家02专项验收

万睿超高真空冷泵通过国家02专项验收,SMIC参加
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